
日本YUTAKA壓力控制器中低壓大流量LH2系列 LH2SS/LH2SH/LH2SS-C0 LH2系列是針對工藝氣體設計的低壓/中壓大流量型產品,配有針形調節(jié)閥。
2025-05-04
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315
日本YUTAKA中低壓大流量壓力控制器LH1系列 LH1SS/LH1SS-CO LH1系列是針對大宗氣體設計的低壓/中壓大流量型產品,采用調節(jié)閥形狀的平密封結構。
2025-05-04
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299
日本YUTAKA低壓大流量型壓力控制器L36系列 L36SS/L36SH L36系列是用于半導體工藝制造氣體的低壓型產品,設計緊湊但能夠提供最大流量。它具有出色的外部泄漏和顆粒性能,使其成為閥箱和連接裝置的理想選擇。
2025-05-04
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312
日本YUTAKA中壓中流量型壓力控制器L35系列 L35SS/L26SH/L35SH-CL2 L35系列是專為低壓和中壓半導體工藝制造氣體設計的產品?;窘Y構為外部金屬密封和焊接接頭,具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能。由于流量范圍有所增加,因此它非常適合用于為具有 3/8 尺寸管道的設備供電的閥箱和連接裝置。
2025-05-04
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308
日本YUTAKA中低壓流量型壓力控制器L26系列 L26SS/L26SH/L26SH-CL2 L26系列是一款設計用于低壓和中壓半導體工藝制造氣體的產品?;窘Y構是外部金屬密封和焊接接頭,使其成為與L25產品相比基本性能有所提高的過渡產品。該產品具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能,使其成為設備供應中使用的閥箱和連接裝置的理想選擇。
2025-05-04
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295
日本YUTAKA絕壓型真空調節(jié)控制器L96系列 L96SS/L96SH/L96SS-CO L96系列是專為半導體工藝制造氣體設計的具有真空可調結構的產品。非常適合低蒸氣壓氣體?;窘Y構為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)范,使其成為具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能的產品。
2025-05-04
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357
日本YUTAKA絕壓型壓力控制器設備L88系列 L88SS L88系列是針對半導體制造氣體B2H6而設計的二級減壓結構的產品。作為抑制B2H6減壓生成產物的措施,中間壓力為3MPa,調節(jié)閥結構為平密封型,采用PCTF調節(jié)閥座,抑制了缺陷。它也非常適合絕熱膨脹變化較大的 NF3。
2025-05-04
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316
日本YUTAKA壓力控制器焊接金屬墊片L81系列 L81SS/L81SH/L81SS-N20 L81系列是一款專為半導體工藝制造氣體設計的產品,具有兩級減壓結構?;窘Y構為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)范,使其成為具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能的產品。兩級減壓結構不易受氣源壓力波動的影響,提供穩(wěn)定的壓力和流量,非常適合液化氣絕熱膨脹導致溫降較大的氣體。
2025-05-03
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